應(yīng)用領(lǐng)域
本設(shè)備主要用于超精密電子元件的平面尺寸、高度、深度、形位公差尺寸測量，采用3D線掃激光傳感器對平面度進行掃描測量，可對復(fù)雜表面重建基準面求差，搭配CCD視覺定位，采用高分辯率相機+環(huán)形表面光+同軸光；

優(yōu)勢

*   可搭載多品牌激光3D線掃傳感器，可選配激光共焦傳感器，對特殊表面進行高度采集；
*   激光3D掃描采集參數(shù)根據(jù)特定產(chǎn)品最優(yōu)化參數(shù)，自研濾噪算法，經(jīng)過行業(yè)多種產(chǎn)品驗證；
*   行業(yè)首創(chuàng)，XY二維插補掃描，補正放料角度與掃描軸不平行引起的誤差；
*   平面區(qū)域分段補償功能，減小軸直線度誤差影響；
*   高精度運動部件＋全局標(biāo)定補償，XYZ重復(fù)精度0.005mm

主要參數(shù)

1、檢測功能：測量深度、元件臺階、平面度、位置度等

2、檢測效率：根據(jù)產(chǎn)品表面確定（3維）

3、分辯率：2 um

4、工作臺尺寸： 500 x 400 mm  可支持雙平面定制

東莞市小可智能設(shè)備科技有限公司生產(chǎn)研發(fā)3D測量,3D測量設(shè)備,精密尺寸3D測量,3D測量設(shè)備參數(shù)等歡迎來電考察。

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